據(jù)外媒Tomshardware報(bào)道，俄羅斯一家研究單位正在研究開(kāi)發(fā)可被用于7納米制程芯片生產(chǎn)的光刻掃描儀，不過(guò)該工具將與ASML或Nikon等公司生產(chǎn)的光刻掃描儀有所不同。

圖源：Tomshardware

報(bào)道稱，俄羅斯科學(xué)院下屬的俄羅斯應(yīng)用物理研究所樂(lè)觀預(yù)期，俄羅斯到2028年能夠成功研發(fā)且量產(chǎn)出具有7納米制造能力的微影光刻設(shè)備，并預(yù)期設(shè)備研發(fā)生完成后可能會(huì)比ASML的Twinscan NXT:2000i效能更高。

消息一出有眾多人都不相信，畢竟ASML開(kāi)發(fā)Twinscan NXT:2000i就花費(fèi)了超過(guò)10年時(shí)間，而俄羅斯應(yīng)用物理研究所在芯片生產(chǎn)沒(méi)有任何經(jīng)驗(yàn)或與芯片制造商沒(méi)有任何聯(lián)系，用六年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)難度堪比登天。

據(jù)報(bào)道稱，原因在于俄羅斯研發(fā)的微影光刻設(shè)備將與ASML、Nikon等公司生產(chǎn)的光刻掃描儀有所不同。例如俄羅斯應(yīng)用物理研究所計(jì)劃使用大于600W的光源、曝光波長(zhǎng)為 11.3nm（EUV 波長(zhǎng)為13.5nm）。由于該設(shè)備的光源功率相對(duì)較低，這將使工具更緊湊，更易于構(gòu)建。然而這也意味著其掃描儀的產(chǎn)量將大大低于現(xiàn)代深紫外 (DUV) 工具的產(chǎn)量。

根據(jù)俄羅斯應(yīng)用物理研究所的研發(fā)計(jì)劃，將于2024年之前建造一個(gè)功能齊全的首代微影光刻設(shè)備，使其能運(yùn)作和對(duì)潛在投資者有吸引力。緊接計(jì)劃于2026年之前制造出具有更高生產(chǎn)力和解析度的微影光刻設(shè)備的測(cè)試版設(shè)備，可以實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)晶圓；微影光刻設(shè)備終極版本將于2028年問(wèn)世，其不但要能獲得高性能光源，并且具有更好的計(jì)算量測(cè)和整體能力。?