南大光電在接受機構調研時表示，公司ArF光刻膠產(chǎn)品分別通過一家存儲芯片制造企業(yè)和一家邏輯芯片制造企業(yè)的驗證，目前多款產(chǎn)品正在多家客戶同時進行認證。
圖：南大光電
據(jù)南大光電透露，公司的光刻膠主要檢測設備（如光刻機）已經(jīng)安裝調試完畢，并正常投入使用。此外，南大光電本次還表示，公司量產(chǎn)產(chǎn)品包括MO源、半導體前驅體、電子特氣、光刻膠及配套材料等，可在薄膜沉積、光刻、蝕刻、摻雜、清洗等多個集成電路制造流程中實現(xiàn)應用。南大光電是從事先進電子材料生產(chǎn)、研發(fā)和銷售的高新技術企業(yè)，產(chǎn)品廣泛應用于集成電路、平板顯示、LED、第三代半導體、光伏和半導體激光器的生產(chǎn)制造。公司產(chǎn)品分為先進前驅體材料、電子特氣和光刻膠及配套材料三個板塊，目前主要收入貢獻來自于先進前驅體材料和電子特氣。其中，南大光電表示，先進前驅體材料如28nm和14nm制程前驅體、硅前驅體等產(chǎn)品研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化取得重要突破。氫類電子特氣在技術、品質、產(chǎn)能和銷售各方面已躍居世界前列。氟類電子特氣方面公司加快烏蘭察布“試驗田”建設，為建設“世界單項冠軍”產(chǎn)品奠定堅實的基礎。
