近日據(jù)韓媒ITNews報(bào)道，韓國(guó)半導(dǎo)體材料企業(yè)Dongjin Semichem（東進(jìn)半導(dǎo)體）在最近自主開(kāi)發(fā)并商業(yè)化的EUV光刻膠中發(fā)揮了核心作用，并已開(kāi)始了無(wú)機(jī)EUV光刻膠的開(kāi)發(fā)。

圖：東進(jìn)半導(dǎo)體華城園區(qū)

芯片大師曾報(bào)道被日本“卡脖”3年后，韓國(guó)突破了EUV光刻膠，由于三星將該產(chǎn)品用于實(shí)際的半導(dǎo)體生產(chǎn)，東進(jìn)半導(dǎo)體成為韓國(guó)第一家將EUVPR國(guó)產(chǎn)化至量產(chǎn)水平的公司。

目前，東進(jìn)半導(dǎo)體已開(kāi)始開(kāi)發(fā)基于無(wú)機(jī) (MOR) 的極紫外 (EUV) 光刻膠 (PR)，這是下一代半導(dǎo)體超精細(xì)加工必不可少的材料。同時(shí)，日本的光刻膠大廠JSR也正在開(kāi)發(fā)MOR PR，旨在成為世界領(lǐng)先者。

由于與有機(jī)（CAR）PR相比，MOR PR在光吸收方面是一種更優(yōu)異的材料，因此有望用于超精細(xì)半導(dǎo)體的生產(chǎn)線(xiàn)，而光刻膠是應(yīng)用于晶圓以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體電路的關(guān)鍵材料。

據(jù)悉，日本JSR的子公司Inpria正在開(kāi)發(fā)無(wú)機(jī)PR，目標(biāo)是成為世界上第一個(gè)量產(chǎn)它的公司。Inpria是一家成立于2007年的美國(guó)無(wú)機(jī)化學(xué)公司，于2021年被JSR收購(gòu)，隨后日本JSR開(kāi)始準(zhǔn)備向三星電子、SK海力士、臺(tái)積電、英特爾等公司供應(yīng)無(wú)機(jī)PR，用于內(nèi)存和系統(tǒng)半導(dǎo)體制造。

東進(jìn)半導(dǎo)體在2019年日本出口管制后，一直在推動(dòng)EUV PR的發(fā)展。通過(guò)與三星電子的合作，東進(jìn)半導(dǎo)體成功地將EUV PR應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線(xiàn)，此外還有氟化氪（KrF）、氟化氬（ ArF）光刻膠。

為響應(yīng)韓國(guó)國(guó)內(nèi)的PR需求，東進(jìn)在京畿道華城工廠投資1,127億韓元。由于三星電子使用了東進(jìn)半導(dǎo)體的EUV PR，因此提出了在無(wú)機(jī)EUV PR上的合作潛力，SK海力士也對(duì)無(wú)機(jī)光刻膠表現(xiàn)出興趣。